1 הקדמה
אין די קרייַז ברעט פֿאַרזאַמלונג, סאַדער פּאַפּ איז געדרוקט אויף די קרייַז ברעט סאַדער בלאָק ערשטער, און דעמאָלט פאַרשידן עלעקטראָניש קאַמפּאָונאַנץ זענען אַפיקסט. צום סוף, נאָך די ריפלאָו אויוון, די צין קרעלן אין די סאַדער פּאַפּ זענען צעלאָזן און אַלע מינים פון עלעקטראָניש קאַמפּאָונאַנץ און די סאַדער בלאָק פון די קרייַז ברעט זענען וועלדיד צוזאַמען צו פאַרשטיין די פֿאַרזאַמלונג פון עלעקטריקאַל סובמאָדולעס. סערפאַסעמאָונטטעטשנאָלאָגי (סמט) איז ינקריסינגלי געניצט אין הויך-געדיכטקייַט פּאַקקאַגינג פּראָדוקטן, אַזאַ ווי סיסטעם מדרגה פּעקל (סיפּ), באַלגרידאַררייַ (BGA) דעוויסעס, און מאַכט נאַקעט טשיפּ, קוואַדראַט פלאַך שטיפט-ווייניקער פּעקל (קוואַד אַאַטנאָ-בלייַ, ריפערד צו ווי QFN) ) מיטל.
רעכט צו דער טשאַראַקטעריסטיקס פון סאַדער פּאַפּ וועלדינג פּראָצעס און מאַטעריאַלס, נאָך ריפלאָו וועלדינג פון די גרויס סאַדער ייבערפלאַך דעוויסעס, עס וועט זיין האָלעס אין די סאַדער וועלדינג געגנט, וואָס וועט ווירקן די עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס, טערמאַל פּראָפּערטיעס און מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס פון די פּראָדוקט פאָרשטעלונג, און אפילו פירן צו פּראָדוקט דורכפאַל, דעריבער, צו פֿאַרבעסערן די סאַדער פּאַפּ רעפלאָוו וועלדינג קאַוואַטי איז געווארן אַ פּראָצעס און טעכניש פּראָבלעם וואָס מוזן זיין סאַלווד, עטלעכע ריסערטשערז האָבן אַנאַלייזד און געלערנט די סיבות פון BGA סאַדער פּילקע וועלדינג קאַוואַטי, און צוגעשטעלט פֿאַרבעסערונג סאַלושאַנז, קאַנווענשאַנאַל סאַדער רעפלאָוו וועלדינג פּראָצעס וועלדינג שטח פון QFN גרעסער ווי 10 מם 2 אָדער וועלדינג שטח גרעסער ווי 6 מם 2 ס נאַקעט שפּאָן לייזונג איז פעלנדיק.
ניצן פּרעפאָרמסאָלדער וועלדינג און וואַקוום רעפלוקס אויוון וועלדינג צו פֿאַרבעסערן די וועלד לאָך. פּריפאַבריקייטיד סאַדער ריקווייערז ספּעציעל ויסריכט צו פונט פלאַקס. פֿאַר בייַשפּיל, דער שפּאָן איז אָפסעט און טילטיד עמעס נאָך די שפּאָן איז געשטעלט גלייַך אויף די פּריפאַבריקייטיד סאַדער. אויב די פלאַקס באַרג שפּאָן איז ריפלאָו און דעמאָלט פונט, דער פּראָצעס איז געוואקסן דורך צוויי ריפלאָו, און די פּרייַז פון פּריפאַבריקייטיד סאַדער און פלאַקס מאַטעריאַל איז פיל העכער ווי די סאַדער פּאַפּ.
וואַקוום רעפלוקס עקוויפּמענט איז מער טייַער, די וואַקוום קאַפּאַציטעט פון די פרייַ וואַקוום קאַמער איז זייער נידעריק, די פּרייַז פאָרשטעלונג איז נישט הויך, און די צין ספּלאַשינג פּראָבלעם איז ערנסט, וואָס איז אַ וויכטיק פאַקטאָר אין די אַפּלאַקיישאַן פון הויך-געדיכטקייַט און קליין פּעך. פּראָדוקטן. אין דעם פּאַפּיר, באזירט אויף די קאַנווענשאַנאַל סאַדער פּאַפּ ריפלאָו וועלדינג פּראָצעס, אַ נייַ צווייטיק רעפלאָו וועלדינג פּראָצעס איז דעוועלאָפּעד און באַקענענ צו פֿאַרבעסערן די וועלדינג קאַוואַטי און סאָלווע די פּראָבלעמס פון באַנדינג און פּלאַסטיק פּלאָמבע קראַקינג געפֿירט דורך וועלדינג קאַוואַטי.
2 סאַדער פּאַפּ דרוקן רעפלאָוו וועלדינג קאַוואַטי און פּראָדוקציע מעקאַניזאַם
2.1 וועלדינג קאַוואַטי
נאָך ריפלאָו וועלדינג, די פּראָדוקט איז טעסטעד אונטער X-Ray. די האָלעס אין די וועלדינג זאָנע מיט לייטער קאָלירן זענען געפונען צו זיין רעכט צו ניט גענוג סאַדער אין די וועלדינג שיכטע, ווי געוויזן אין פיגורע 1
X-Ray דיטעקשאַן פון די בלאָז לאָך
2.2 פאָרמירונג מעקאַניזאַם פון וועלדינג קאַוואַטי
גענומען sAC305 סאַדער פּאַפּ ווי אַ בייַשפּיל, די הויפּט זאַץ און פֿונקציע זענען געוויזן אין טאַבלע 1. די פלאַקס און צין קרעלן זענען באַנדיד צוזאַמען אין פּאַפּ פאָרעם. די וואָג פאַרהעלטעניש פון צין סאַדער צו פלאַקס איז וועגן 9: 1, און די באַנד פאַרהעלטעניש איז וועגן 1: 1.
נאָך די סאַדער פּאַפּ איז געדרוקט און מאָונטעד מיט פאַרשידן עלעקטראָניש קאַמפּאָונאַנץ, די סאַדער פּאַפּ וועט דורכגיין פיר סטאַגעס פון פּרעהעאַטינג, אַקטאַוויישאַן, רעפלוקס און קאָאָלינג ווען עס פּאַסיז דורך די רעפלוקס אויוון. די שטאַט פון די סאַדער פּאַפּ איז אויך אַנדערש מיט פאַרשידענע טעמפּעראַטורעס אין פאַרשידענע סטאַגעס, ווי געוויזן אין פיגורע 2.
פּראָפיל רעפֿערענץ פֿאַר יעדער געגנט פון ריפלאָו סאַדערינג
אין די פּרעהעאַטינג און אַקטאַוויישאַן בינע, די וואַלאַטאַל קאַמפּאָונאַנץ אין די פלאַקס אין די סאַדער פּאַפּ וועט זיין וואַלאַטאַלייזד אין גאַז ווען העאַטעד. אין דער זעלביקער צייט, גאַסאַז וועט זיין געשאפן ווען די אַקסייד אויף די ייבערפלאַך פון די וועלדינג שיכטע איז אַוועקגענומען. עטלעכע פון די גאַסאַז וועט פאַרשווינדן און לאָזן די סאַדער פּאַפּ, און די סאַדער קרעלן וועט זיין טייטלי קאַנדענסט רעכט צו די וואַלאַטאַליזיישאַן פון פלאַקס. אין די רעפלוקס בינע, די רוען פלאַקס אין די סאַדער פּאַפּ וועט יוואַפּערייט געשווינד, די צין קרעלן וועט צעלאָזן, אַ קליין סומע פון פלוקס וואַלאַטאַל גאַז און רובֿ פון די לופט צווישן די צין קרעלן וועט נישט צעשפּרייטן אין צייט, און די ריזידזשואַל אין די רעפלוקס בינע מאָולטאַן צין און אונטער די שפּאַנונג פון די מאָולטאַן צין זענען האַמבורגער סענדוויטש סטרוקטור און זענען געכאפט דורך די קרייַז ברעט סאַדער בלאָק און עלעקטראָניש קאַמפּאָונאַנץ, און די גאַז אלנגעוויקלט אין די פליסיק צין איז שווער צו אַנטלויפן בלויז דורך די אַרוף בויאַנס דער אויבערשטער מעלטינג צייַט איז זייער קורץ. ווען די מאָולטאַן צין קולז אַראָפּ און ווערט האַרט צין, פּאָרעס דערשייַנען אין די וועלדינג שיכטע און סאַדער האָלעס זענען געשאפן, ווי געוויזן אין פיגורע 3.
סכעמאַטיש דיאַגראַמע פון פּאָסל דזשענערייטאַד דורך סאַדער פּאַפּ ריפלאָו וועלדינג
דער וואָרצל גרונט פון וועלדינג קאַוואַטי איז אַז די לופט אָדער וואַלאַטאַל גאַז אלנגעוויקלט אין די סאַדער פּאַפּ נאָך מעלטינג איז נישט גאָר דיסטשאַרדזשד. די ינפלואַנסינג סיבות אַרייַננעמען סאַדער פּאַפּ מאַטעריאַל, סאַדער פּאַפּ דרוקן פאָרעם, סאַדער פּאַפּ דרוק סומע, רעפלוקס טעמפּעראַטור, רעפלוקס צייט, וועלדינג גרייס, סטרוקטור און אַזוי אויף.
3. וועראַפאַקיישאַן פון ינפלואַנסינג סיבות פון סאַדער פּאַפּ דרוקן ריפלאָו וועלדינג האָלעס
QFN און נאַקעט שפּאָן טעסץ זענען געניצט צו באַשטעטיקן די הויפּט סיבות פון רעפלאָו וועלדינג וווידז, און צו געפֿינען וועגן צו פֿאַרבעסערן די רעפלאָוו וועלדינג וווידז געדרוקט דורך סאַדער פּאַפּ. QFN און נאַקעט שפּאָן סאַדער פּאַפּ רעפלאָוו וועלדינג פּראָדוקט פּראָפיל איז געוויזן אין פיגורע 4, QFN וועלדינג ייבערפלאַך גרייס איז 4.4מקס4.1מם, וועלדינג ייבערפלאַך איז טיינד שיכטע (100% ריין צין); די וועלדינג גרייס פון די נאַקעט שפּאָן איז 3.0mmx2.3mm, די וועלדינג שיכטע איז ספּאַטערד ניקאַל-וואַנאַדיום ביימעטאַליק שיכטע, און די ייבערפלאַך שיכטע איז וואַנאַדיום. די וועלדינג בלאָק פון די סאַבסטרייט איז געווען עלעקטראָלעסס ניקאַל-פּאַלאַדיום גאָלד-דיפּינג, און די גרעב איז געווען 0.4μם / 0.06μם / 0.04μם. SAC305 סאַדער פּאַפּ איז געניצט, די סאַדער פּאַפּ דרוק ויסריכט איז DEK Horizon APix, די רעפלוקס אויוון ויסריכט איז BTUPyramax150N, און די X-Ray ויסריכט איז DAGExD7500VR.
QFN און נאַקעט שפּאָן וועלדינג דראַווינגס
צו פאַסילאַטייט פאַרגלייַך פון פּרובירן רעזולטאַטן, ריפלאָו וועלדינג איז דורכגעקאָכט אונטער די באדינגונגען אין טאַבלע 2.
רעפלאָוו וועלדינג צושטאַנד טיש
נאָך די ייבערפלאַך מאַונטינג און ריפלאָו וועלדינג זענען געענדיקט, די וועלדינג שיכטע איז געווען דיטעקטאַד דורך X-Ray, און עס איז געפונען אַז עס זענען גרויס האָלעס אין די וועלדינג שיכטע אין די דנאָ פון QFN און נאַקעט שפּאָן, ווי געוויזן אין פיגורע 5.
QFN און טשיפּ האָלאָגראַם (X-Ray)
זינט צין קרעל גרייס, שטאָל ייגל גרעב, עפן שטח קורס, שטאָל ייגל פאָרעם, רעפלוקס צייט און שפּיץ אויוון טעמפּעראַטור וועט אַלע ווירקן ריפלאָו וועלדינג וווידז, עס זענען פילע ינפלואַנסינג סיבות, וואָס וועט זיין גלייך וועראַפייד דורך DOE פּרובירן, און די נומער פון יקספּערמענאַל. גרופּעס וועט זיין צו גרויס. עס איז נייטיק צו געשווינד פאַרשטעלן און באַשטימען די הויפּט ינפלואַנסינג סיבות דורך קאָראַליישאַן פאַרגלייַך פּרובירן, און דערנאָך אַפּטאַמייז די הויפּט ינפלואַנסינג סיבות דורך DOE.
3.1 דימענשאַנז פון סאַדער האָלעס און סאַדער פּאַפּ צין קרעלן
מיט טיפּ 3 (קרעלן גרייס 25-45 μm) SAC305 סאַדער פּאַפּ פּרובירן, אנדערע באדינגונגען בלייבן אַנטשיינדזשד. נאָך ריפלאָו, די האָלעס אין די סאַדער שיכטע זענען געמאסטן און קאַמפּערד מיט טיפּ 4 סאַדער פּאַפּ. עס איז געפונען אַז די האָלעס אין די סאַדער שיכטע זענען נישט באטייטיק אַנדערש צווישן די צוויי מינים פון סאַדער פּאַפּ, וואָס ינדיקייץ אַז די סאַדער פּאַפּ מיט פאַרשידענע קרעל גרייס האט קיין קלאָר ווי דער טאָג השפּעה אויף די האָלעס אין די סאַדער שיכטע, וואָס איז נישט אַ ינפלואַנסינג פאַקטאָר, ווי געוויזן אין FIG. 6 ווי געוויזן.
פאַרגלייַך פון מעטאַלליק צין פּודער האָלעס מיט פאַרשידענע פּאַרטאַקאַל סיזעס
3.2 גרעב פון וועלדינג קאַוואַטי און געדרוקט שטאָל ייגל
נאָך ריפלאָוו, די קאַוואַטי געגנט פון די וועלדעד שיכטע איז געמאסטן מיט די געדרוקט שטאָל ייגל מיט די גרעב פון 50 μם, 100 μם און 125 μם, און אנדערע באדינגונגען פארבליבן אַנטשיינדזשד. עס איז געפונען אַז די ווירקונג פון פאַרשידענע גרעב פון שטאָל ייגל (סאַלדער פּאַפּ) אויף QFN איז געווען קאַמפּערד מיט די פון די געדרוקט שטאָל ייגל מיט די גרעב פון 75 μם ווי די גרעב פון די שטאָל ייגל ינקריסיז, די קאַוואַטי געגנט ביסלעכווייַז דיקריסאַז סלאָולי. נאָך דערגרייכן אַ זיכער גרעב (100μם), די קאַוואַטי געגנט וועט פאַרקערט און אָנהייבן צו פאַרגרעסערן מיט די פאַרגרעסערן פון די גרעב פון די שטאָל ייגל, ווי געוויזן אין פיגורע 7.
דאָס ווייזט אַז ווען די סומע פון סאַדער פּאַפּ איז געוואקסן, די פליסיק צין מיט רעפלוקס איז באדעקט דורך די שפּאָן, און די ווענטיל פון ריזידזשואַל לופט אַנטלויפן איז בלויז שמאָל אויף פיר זייטן. ווען די סומע פון סאַדער פּאַפּ איז פארענדערט, די ווענטיל פון ריזידזשואַל לופט אַנטלויפן איז אויך געוואקסן, און די רעגע פּלאַצן פון לופט אלנגעוויקלט אין פליסיק צין אָדער וואַלאַטאַל גאַז יסקייפּינג פליסיק צין וועט פאַרשאַפן פליסיק צין צו שפּריצן אַרום QFN און די שפּאָן.
די פּראָבע געפונען אַז מיט די פאַרגרעסערן פון די גרעב פון די שטאָל ייגל, די בלאָז פּלאַצן געפֿירט דורך די אַנטלויפן פון לופט אָדער וואַלאַטאַל גאַז וועט אויך פאַרגרעסערן, און די מאַשמאָעס פון צין שפּריצן אַרום QFN און שפּאָן וועט אויך פאַרגרעסערן קאָראַספּאַנדינג.
פאַרגלייַך פון האָלעס אין שטאָל ייגל פון פאַרשידענע גרעב
3.3 שטח פאַרהעלטעניש פון וועלדינג קאַוואַטי און שטאָל ייגל עפן
די געדרוקט שטאָל ייגל מיט די עפן קורס פון 100%, 90% און 80% איז טעסטעד, און אנדערע באדינגונגען פארבליבן אַנטשיינדזשד. נאָך ריפלאָו, די קאַוואַטי געגנט פון די וועלדעד שיכטע איז געמאסטן און קאַמפּערד מיט די געדרוקט שטאָל ייגל מיט די 100% עפן קורס. עס איז געפונען אַז עס איז קיין באַטייטיק חילוק אין די קאַוואַטי פון די וועלדעד שיכטע אונטער די באדינגונגען פון די עפן קורס פון 100% און 90% 80%, ווי געוויזן אין פיגורע 8.
קאַוואַטי פאַרגלייַך פון פאַרשידענע עפן געגנט פון פאַרשידענע שטאָל ייגל
3.4 וועלדעד קאַוואַטי און געדרוקט שטאָל ייגל פאָרעם
מיט די דרוק פאָרעם פּרובירן פון די סאַדער פּאַפּ פון פּאַס ב און גענייגט גריד C, אנדערע באדינגונגען בלייבן אַנטשיינדזשד. נאָך ריפלאָו, די קאַוואַטי געגנט פון די וועלדינג שיכטע איז געמאסטן און קאַמפּערד מיט די דרוק פאָרעם פון גריד אַ. עס איז געפונען אַז עס איז קיין באַטייטיק חילוק אין די קאַוואַטי פון די וועלדינג שיכטע אונטער די באדינגונגען פון גריד, פּאַס און גענייגט גריד, ווי געוויזן אין פיגורע 9.
פאַרגלייַך פון האָלעס אין פאַרשידענע עפן מאָדעס פון שטאָל ייגל
3.5 וועלדינג קאַוואַטי און רעפלוקס צייט
נאָך אַ פּראַלאָנגד רעפלוקס צייט (70 s, 80 s, 90 s) פּרובירן, אנדערע באדינגונגען בלייבן אַנטשיינדזשד, די לאָך אין די וועלדינג שיכטע איז געמאסטן נאָך רעפלוקס, און קאַמפּערד מיט די רעפלוקס צייט פון 60 s, עס איז געפונען אַז מיט די פאַרגרעסערן פון רעפלוקס צייט, די וועלדינג לאָך געגנט דיקריסט, אָבער די רעדוקציע אַמפּליטוד ביסלעכווייַז דיקריסט מיט די פאַרגרעסערן פון צייַט, ווי געוויזן אין פיגורע 10. דאָס ווייזט אַז אין די פאַל פון ניט גענוגיק רעפלוקס צייט, ינקריסינג די רעפלוקס צייט איז קאַנדוסיוו צו די פול אָוווערפלאָו פון לופט אלנגעוויקלט אין צעלאָזן פליסיק צין, אָבער נאָך די רעפלוקס צייט ינקריסיז צו אַ זיכער צייט, די לופט אלנגעוויקלט אין פליסיק צין איז שווער צו לויפן ווידער. רעפלוקס צייט איז איינער פון די סיבות וואָס ווירקן די וועלדינג קאַוואַטי.
פּאָסל פאַרגלייַך פון פאַרשידענע רעפלוקס צייט לענגקטס
3.6 וועלדינג קאַוואַטי און שפּיץ ויוון טעמפּעראַטור
מיט 240 ℃ און 250 ℃ שפּיץ אויוון טעמפּעראַטור פּרובירן און אנדערע טנאָים אַנטשיינדזשד, די קאַוואַטי געגנט פון די וועלדעד שיכטע איז געמאסטן נאָך ריפלאָו, און קאַמפּערד מיט 260 ℃ שפּיץ אויוון טעמפּעראַטור, עס איז געפונען אַז אונטער פאַרשידענע שפּיץ אויוון טעמפּעראַטור טנאָים, די קאַוואַטי פון די וועלדעד שיכטע פון QFN און שפּאָן האט נישט טוישן באטייטיק, ווי געוויזן אין פיגורע 11. עס ווייזט אַז פאַרשידענע שפּיץ אויוון טעמפּעראַטור האט קיין קלאָר ווי דער טאָג ווירקונג אויף QFN און די לאָך אין די וועלדינג שיכטע פון די שפּאָן, וואָס איז נישט אַ ינפלואַנסינג פאַקטאָר.
פּאָסל פאַרגלייַך פון פאַרשידענע שפּיץ טעמפּעראַטורעס
די אויבן טעסץ אָנווייַזן אַז די באַטייַטיק סיבות וואָס ווירקן די וועלד שיכטע קאַוואַטי פון QFN און שפּאָן זענען רעפלוקס צייט און שטאָל ייגל גרעב.
4 סאַדער פּאַפּ דרוקן ריפלאָו וועלדינג קאַוואַטי פֿאַרבעסערונג
4.1DOE פּרובירן צו פֿאַרבעסערן וועלדינג קאַוואַטי
די לאָך אין די וועלדינג שיכטע פון QFN און שפּאָן איז ימפּרוווד דורך דערגייונג די אָפּטימאַל ווערט פון די הויפּט ינפלואַנסינג סיבות (רעפלוקס צייט און שטאָל ייגל גרעב). די סאַדער פּאַפּ איז געווען SAC305 טיפּ 4, די שטאָל ייגל פאָרעם איז געווען גריד טיפּ (100% עפן גראַד), די שפּיץ טעמפּעראַטור פון די אויוון איז געווען 260 ℃, און אנדערע פּרובירן טנאָים זענען די זעלבע ווי די פּראָבע ויסריכט. DOE פּרובירן און רעזולטאַטן זענען געוויזן אין טאַבלע 3. די ינפלואַנסיז פון שטאָל ייגל גרעב און רעפלוקס צייט אויף QFN און שפּאָן וועלדינג האָלעס זענען געוויזן אין פיגורע 12. דורך די ינטעראַקשאַן אַנאַליסיס פון הויפּט ינפלואַנסינג סיבות, עס איז געפונען אַז ניצן 100 μם שטאָל ייגל גרעב און 80 s רעפלוקס צייט קענען באטייטיק רעדוצירן די וועלדינג קאַוואַטי פון QFN און שפּאָן. די וועלדינג קאַוואַטי קורס פון QFN איז רידוסט פון די מאַקסימום 27.8% צו 16.1%, און די וועלדינג קאַוואַטי קורס פון שפּאָן איז רידוסט פון די מאַקסימום 20.5% צו 14.5%.
אין די פּראָבע, 1000 פּראָדוקטן זענען געשאפן אונטער די אָפּטימאַל טנאָים (100 μm שטאָל ייגל גרעב, 80 s רעפלוקס צייט), און די וועלדינג קאַוואַטי קורס פון 100 QFN און שפּאָן איז ראַנדאַמלי געמאסטן. די דורכשניטלעך וועלדינג קאַוואַטי קורס פון QFN איז געווען 16.4%, און די דורכשניטלעך וועלדינג קאַוואַטי קורס פון שפּאָן איז געווען 14.7% די וועלד קאַוואַטי קורס פון די שפּאָן און די שפּאָן זענען דאָך רידוסט.
4.2 די נייַ פּראָצעס ימפּרוווז די וועלדינג קאַוואַטי
די פאַקטיש פּראָדוקציע סיטואַציע און פּראָבע ווייַזן אַז ווען די וועלדינג קאַוואַטי געגנט אין די דנאָ פון די שפּאָן איז ווייניקער ווי 10%, די שפּאָן קאַוואַטי שטעלע קראַקינג פּראָבלעם וועט נישט פּאַסירן בעשאַס די פירן באַנדינג און מאָלדינג. די פּראָצעס פּאַראַמעטערס אָפּטימיזעד דורך DOE קענען נישט טרעפן די רעקווירעמענץ פון אַנאַלייזינג און סאַלווינג די האָלעס אין די קאַנווענשאַנאַל סאַדער פּאַפּ ריפלאָו וועלדינג, און די וועלדינג קאַוואַטי שטח קורס פון די שפּאָן דאַרף זיין נאָך רידוסט.
זינט די שפּאָן באדעקט אויף די סאַדער פּריווענץ די גאַז אין די סאַדער פון יסקייפּינג, די לאָך קורס אין די דנאָ פון די שפּאָן איז ווייַטער רידוסט דורך ילימאַנייטינג אָדער רידוסינג די סאַדער קאָוטאַד גאַז. א נייַע פּראָצעס פון ריפלאָו וועלדינג מיט צוויי סאַדער פּאַפּ דרוקן איז אנגענומען: איין סאַדער פּאַפּ דרוקן, איינער ריפלאָו נישט קאַווערינג QFN און נאַקעט שפּאָן דיסטשאַרדזשינג די גאַז אין סאַדער; דער ספּעציפיש פּראָצעס פון צווייטיק סאַדער פּאַפּ דרוקן, לאַטע און צווייטיק רעפלוקס איז געוויזן אין פיגורע 13.
ווען די 75μם דיק סאַדער פּאַפּ איז געדרוקט פֿאַר די ערשטער מאָל, רובֿ פון די גאַז אין די סאַדער אָן שפּאָן דעקן יסקייפּס פון די ייבערפלאַך, און די גרעב נאָך רעפלוקס איז וועגן 50μם. נאָך די קאַמפּלישאַן פון די ערשטיק רעפלוקס, קליין סקווערז זענען געדרוקט אויף די ייבערפלאַך פון די קולד סאַלידאַפייד סאַדער (אין סדר צו רעדוצירן די סומע פון סאַדער פּאַפּ, רעדוצירן די סומע פון גאַז ספּילאָווער, רעדוצירן אָדער עלימינירן סאַדער ספּאַטער), און די סאַדער פּאַפּ מיט סאַדער. אַ גרעב פון 50 μם (די אויבן פּראָבע רעזולטאַטן ווייַזן אַז 100 μם איז דער בעסטער, אַזוי די גרעב פון די צווייטיק דרוק איז 100 μm.50 μm = 50 μm), דעמאָלט ינסטאַלירן די שפּאָן, און דאַן צוריקקומען דורך 80 ס. עס איז כּמעט קיין לאָך אין די סאַדער נאָך דער ערשטער דרוקן און ריפלאָו, און די סאַדער פּאַפּ אין די רגע דרוק איז קליין, און די וועלדינג לאָך איז קליין, ווי געוויזן אין פיגורע 14.
נאָך צוויי פּרינטינגז פון סאַדער פּאַפּ, פּוסט צייכענונג
4.3 וועראַפאַקיישאַן פון וועלדינג קאַוואַטי ווירקונג
פּראָדוקציע פון 2000 פּראָדוקטן (די גרעב פון דער ערשטער דרוקן שטאָל ייגל איז 75 μם, די גרעב פון די רגע דרוקן שטאָל ייגל איז 50 μם), אנדערע טנאָים אַנטשיינדזשד, טראַפ - מעזשערמאַנט פון 500 קפן און שפּאָן וועלדינג קאַוואַטי קורס, געפונען אַז די נייַ פּראָצעס נאָך דער ערשטער רעפלוקס קיין קאַוואַטי, נאָך די רגע רעפלוקס QFN די מאַקסימום וועלדינג קאַוואַטי קורס איז 4.8%, און די מאַקסימום וועלדינג קאַוואַטי קורס פון די שפּאָן איז 4.1%. קאַמפּערד מיט דער אָריגינעל וועלדינג פּראָצעס מיט איין פּאַפּ דרוקן און די DOE אָפּטימיזעד פּראָצעס, די וועלדינג קאַוואַטי איז באטייטיק רידוסט, ווי געוויזן אין פיגורע 15. קיין שפּאָן קראַקס זענען געפֿונען נאָך פאַנגקשאַנאַל טעסץ פון אַלע פּראָדוקטן.
5 קיצער
די אַפּטאַמאַזיישאַן פון סאַדער פּאַפּ דרוק סומע און רעפלוקס צייט קענען רעדוצירן די וועלדינג קאַוואַטי געגנט, אָבער די וועלדינג קאַוואַטי קורס איז נאָך גרויס. ניצן צוויי סאַדער פּאַפּ דרוקן ריפלאָו וועלדינג טעקניקס קענען יפעקטיוולי און מאַקסאַמייז די וועלדינג קאַוואַטי קורס. די וועלדינג געגנט פון QFN קרייַז נאַקעט שפּאָן קענען זיין ריספּעקטיוולי 4.4 מם קס 4.1 מם און 3.0 מם קס 2.3 מם ריספּעקטיוולי אין מאַסע פּראָדוקציע די קאַוואַטי קורס פון ריפלאָו וועלדינג איז קאַנטראָולד אונטער 5%, וואָס ימפּרוווז די קוואַליטעט און רילייאַבילאַטי פון ריפלאָו וועלדינג. די פאָרשונג אין דעם פּאַפּיר גיט אַ וויכטיק רעפֿערענץ פֿאַר ימפּרוווינג די וועלדינג קאַוואַטי פּראָבלעם פון גרויס שטח וועלדינג ייבערפלאַך.
פּאָסטן צייט: יולי-05-2023
