פֿון אַ פּראָפֿעסיאָנעלער פּערספּעקטיוו, איז דער פּראָדוקציע פּראָצעס פֿון אַ טשיפּ גאָר קאָמפּליצירט און לאַנגווײַליק. אָבער, פֿון דער גאַנצער אינדוסטריעלער קייט פֿון IC, איז עס הויפּטזעכלעך צעטיילט אין פֿיר טיילן: IC פּלאַן → IC פּראָדוקציע → פּאַקאַדזשינג → טעסטינג.
טשיפּ פּראָדוקציע פּראָצעס:
1. טשיפּ פּלאַן
דער טשיפּ איז אַ פּראָדוקט מיט אַ קליינעם וואָלומען אָבער מיט גאָר הויכער פּינקטלעכקייט. צו מאַכן אַ טשיפּ, איז דיזיין דער ערשטער טייל. דער דיזיין דאַרף די הילף פון דעם טשיפּ דיזיין פון דעם טשיפּ דיזיין וואָס איז נויטיק פֿאַר פּראַסעסינג מיט דער הילף פון דעם EDA געצייַג און עטלעכע IP קאָרעס.
טשיפּ פּראָדוקציע פּראָצעס:
1. טשיפּ פּלאַן
דער טשיפּ איז אַ פּראָדוקט מיט אַ קליינעם וואָלומען אָבער מיט גאָר הויכער פּינקטלעכקייט. צו מאַכן אַ טשיפּ, איז דיזיין דער ערשטער טייל. דער דיזיין דאַרף די הילף פון דעם טשיפּ דיזיין פון דעם טשיפּ דיזיין וואָס איז נויטיק פֿאַר פּראַסעסינג מיט דער הילף פון דעם EDA געצייַג און עטלעכע IP קאָרעס.
3. סיליקאָן -ליפטינג
נאכדעם וואס דער סיליקאן ווערט אפגעטיילט, ווערן די איבערבליבענע מאטעריאלן אפגעלאזט. ריין סיליקאן, נאך פארשידענע טריט, האט דערגרייכט די קוואַליטעט פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע. דאָס איז דער אַזוי גערופענער עלעקטראָנישער סיליקאן.
4. סיליקאָן-גיסונג שטאַנגען
נאך רייניקונג, זאל מען דעם סיליקאן אויסגאסן אין סיליקאן שטאנגען. אן איינציקער קריסטאל פון אן עלעקטראנישן סיליקאן נאכדעם וואס ער ווערט אויסגעגאסן אין שטאנגען וועגט בערך 100 קילא, און די ריינקייט פון סיליקאן דערגרייכט 99.9999%.
5. טעקע פאַראַרבעטונג
נאכדעם וואס דער סיליקאן שטאף ווערט געגאסן, מוז דער גאנצער סיליקאן שטאף ווערן צושניטן אין שטיקלעך, וואס איז דער וועיפער וואס מיר רופן געווענליך דער וועיפער, וואס איז זייער דין. דערנאך ווערט דער וועיפער פאלירט ביז ער איז פערפעקט, און די אויבערפלאך איז אזוי גלאט ווי דער שפיגל.
דער דיאַמעטער פֿון סיליקאָן וועיפערס איז 8 אינטשעס (200 מ״מ) און 12 אינטשעס (300 מ״מ) אין דיאַמעטער. ווי גרעסער דער דיאַמעטער, אַלץ נידעריקער די קאָסטן פֿון אַן איינציקן טשיפּ, אָבער אַלץ העכער די שוועריקייט פֿון פּראַסעסינג.
5. טעקע פאַראַרבעטונג
נאכדעם וואס דער סיליקאן שטאף ווערט געגאסן, מוז דער גאנצער סיליקאן שטאף ווערן צושניטן אין שטיקלעך, וואס איז דער וועיפער וואס מיר רופן געווענליך דער וועיפער, וואס איז זייער דין. דערנאך ווערט דער וועיפער פאלירט ביז ער איז פערפעקט, און די אויבערפלאך איז אזוי גלאט ווי דער שפיגל.
דער דיאַמעטער פֿון סיליקאָן וועיפערס איז 8 אינטשעס (200 מ״מ) און 12 אינטשעס (300 מ״מ) אין דיאַמעטער. ווי גרעסער דער דיאַמעטער, אַלץ נידעריקער די קאָסטן פֿון אַן איינציקן טשיפּ, אָבער אַלץ העכער די שוועריקייט פֿון פּראַסעסינג.
7. עקליפּס און יאָן ינדזשעקשאַן
ערשטנס, איז נויטיק צו פארראדן סיליקאן אקסייד און סיליקאן ניטריד וואס זענען אויסגעשטעלט אינדרויסן פון די פאטארעזיסט, און אויסליידיקן א שיכט סיליקאן צו איזאלירן צווישן די קריסטאל רער, און דערנאך ניצן די עטשינג טעכנאלאגיע צו אויסשטעלן דעם אונטערשטן סיליקאן. דערנאך אריינשפריצן דעם באָר אדער פאספארוס אין דער סיליקאן סטרוקטור, דערנאך אנפילן דעם קופער צו פארבינדן מיט אנדערע טראַנזיסטאָרן, און דערנאך צולייגן נאך א שיכט קליי דערויף צו מאכן א שיכט סטרוקטור. בכלל, א טשיפּ אנטהאלט צענדליקער שיכטן, ווי שטארק פארפלאכטענע שאסייען.
7. עקליפּס און יאָן ינדזשעקשאַן
ערשטנס, איז נויטיק צו פארראדן סיליקאן אקסייד און סיליקאן ניטריד וואס זענען אויסגעשטעלט אינדרויסן פון די פאטארעזיסט, און אויסליידיקן א שיכט סיליקאן צו איזאלירן צווישן די קריסטאל רער, און דערנאך ניצן די עטשינג טעכנאלאגיע צו אויסשטעלן דעם אונטערשטן סיליקאן. דערנאך אריינשפריצן דעם באָר אדער פאספארוס אין דער סיליקאן סטרוקטור, דערנאך אנפילן דעם קופער צו פארבינדן מיט אנדערע טראַנזיסטאָרן, און דערנאך צולייגן נאך א שיכט קליי דערויף צו מאכן א שיכט סטרוקטור. בכלל, א טשיפּ אנטהאלט צענדליקער שיכטן, ווי שטארק פארפלאכטענע שאסייען.
פּאָסט צייט: יולי-08-2023